| 基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统 |
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| 引用本文： | 何京徽,许素安,谢敏,袁铭权,钱飞,陈乐,孙坚. 基于LabVIEW的激光双频外差干涉纳米位移测量系统[J]. 测控技术, 2014, 33(5): 31-34 |
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| 作者姓名： | 何京徽 许素安 谢敏 袁铭权 钱飞 陈乐 孙坚 |
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| 作者单位： | 中国计量学院 机电工程学院;中国计量学院 机电工程学院;中国计量学院 机电工程学院;福陆（中国）工程建设有限公司;中国计量学院 机电工程学院;中国计量学院 机电工程学院;中国计量学院 机电工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(51105348)；第45批教育部留学回国启动基金项目；浙江省钱江人才计划项目（2013R1066） |
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| 摘 要： | 工业的发展对位置测量精度提出了越来越高的要求。测量外差干涉仪由于其自身测量范围广、测量速度高、稳定性好、分辨率高的特点,在纳米测量领域中得到广泛的应用。提出了一种基于LabVIEW的外差干涉纳米位移测量系统,该系统采用外差干涉仪作为位置检测单元,利用LabVIEW图形化编程语言开发了纳米精度位移测量系统。该系统可广泛应用于纳米计量和超精密测量领域。
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| 关 键 词： | 激光外差干涉仪 纳米位移测量 LabVIEW |
A Heterodyne Interferometric Nanometric Displacement Measurement System Based on LabVIEW |
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