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| 基于微细特种加工的微细制造技术（下） | |
| 作者姓名： | 荣烈润 |
| 作者单位： | 原中国航空精密机械研究所,北京100076 |
| 摘 要： | 5.电子束和离子束加工微细电子束和离子束加工是近十年来得到较大发展的新兴特种微细加工。它们在精密微细加工方面,尤其是在微电子学领域得到较多的应用。近期发展起来的亚微米加工和纳米加工技术,主要是用电子束和离子束微细加工。 |
| 关 键 词： | 微细加工 制造技术 特种加工 离子束加工 纳米加工技术 亚微米加工 电子束 微电子学 |
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