硅场致发射阵列的工艺研究期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

硅场致发射阵列的工艺研究

引用本文：	刘善喜,郑玉琦.硅场致发射阵列的工艺研究[J].真空科学与技术,1994,14(2):129-132.

作者姓名：	刘善喜郑玉琦

摘要：
关键词：	场致发射阵列硅阴极电子学
本文献已被维普等数据库收录！