| 基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究 |
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| 引用本文： | 郑升灵,李丽,要志宏,李宏军,李丰.基于AlN轮廓模式矩形盘谐振器的研究[J].压电与声光,2014,36(1):1-3. |
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| 作者姓名： | 郑升灵 李丽 要志宏 李宏军 李丰 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司 第十三研究所 十六专业部，河北 石家庄 050051 |
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| 摘 要： | 介绍了一种微型化体声波谐振器的理论模型和实作结果,采用微电子和微机械加工技术,实现了一种上、下电极覆盖压电AlN的"三明治"空气腔悬梁结构。该谐振器具有微型化,高品质因数,低成本的特点,实作的谐振器频率约20MHz,品质因数为800,机电耦合系数约0.5%。
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| 关 键 词： | 氮化铝(AlN) 轮廓模式 体声波 矩形盘谐振器 |
Study on the Resonator of AlN Contour mode Rectangle Plate |
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| ZHENG Shengling,LI Li,YAO Zhihong,LI Hongjun and LI Feng.Study on the Resonator of AlN Contour mode Rectangle Plate[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2014,36(1):1-3. |
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| Authors: | ZHENG Shengling LI Li YAO Zhihong LI Hongjun and LI Feng |
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| Affiliation: | The Sixteen Dept.,13th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Shijiazhuang 050051,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | aluminum nitride(AlN) contour mode bulk acoustic wave rectangle plate resonator |
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