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杂志ISSN号
MEMS环形陀螺仪正交误差补偿系统设计
作者姓名:
薛日辉
张英杰
曹慧亮
崔让
刘宇鹏
石云波
摘 要:
以一种电容式全对称S形弹性梁硅基环形波动陀螺仪为对象,对其正交误差进行了相关的研究,以提升MEMS环形陀螺仪的精度.首先,介绍了环形陀螺仪结构,同时以此结构为基础分析了正交误差产生的原因及影响;然后,对环形陀螺仪检测通道的输出信号进行量化分析,并根据正交力校正法设计了环形陀螺仪的正交误差补偿系统;最后,对加入正交误差补...
关 键 词:
MEMS环形陀螺仪
正交误差
正交力校正法
正交误差补偿系统
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