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nMOSFET低能X射线辐照特性研究
引用本文:恩云飞,罗宏伟.nMOSFET低能X射线辐照特性研究[J].电子产品可靠性与环境试验,2005,23(6):25-28.
作者姓名:恩云飞  罗宏伟
作者单位:信息产业部电子第五研究所,广东,广州,510610;电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广东,广州,510610
摘    要:讨论了MOSFET的辐照损伤机理,通过低能(10keV)X射线辐照试验,分析了不同X射线辐照总剂量、不同剂量率对nMOSFET单管的转移特性以及阈值电压的影响。结果表明X射线辐照对nMOSFET的阈值电压变化的影响与^60Co辐照影响的规律基本一致。

关 键 词:低能X射线  总剂量  剂量率  转移特性  阈值电压
文章编号:1672-5468(2005)06-0025-04
修稿时间:2005年8月17日

Total dose effect of nMOSFET under low-energy X-ray irradiation
EN Yun-fei,LUO Hong-wei.Total dose effect of nMOSFET under low-energy X-ray irradiation[J].Electronic Product Reliability and Environmental Testing,2005,23(6):25-28.
Authors:EN Yun-fei  LUO Hong-wei
Abstract:The irradiation failure mechanism of MOSFET is studied.With the test of low-energy (10 keV)X-ray irradiation,the influence of TID,irradiation dose rate to the transmission character and threshold voltage of nMOSFET are analyzed.It shows the change of threshold voltage of nMOSFET under X-ray is consistent with that under ~(60)Co irradiation.
Keywords:low-energy X-ray  Total Irradiation Dose(TID)  dose rate  transmission character  threshold voltage
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