| 热薄膜温差型CMOS 风速
风向传感器的研究和实现 |
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| 引用本文： | 程海洋,秦明,高冬晖,朱昊.热薄膜温差型CMOS 风速
风向传感器的研究和实现[J].电子器件,2004,27(3):486-489. |
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| 作者姓名： | 程海洋 秦明 高冬晖 朱昊 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 江苏省自然科学基金项目资助 ( BK2 0 0 3 0 5 2 )，东南大学科技预研基金资助 |
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| 摘 要： | 介绍了一种基于 CMOS,能同时测量风速风向的硅集成传感器。通过保持芯片和环境温差恒定在设定值 ,测量芯片上对称区域由于风强迫对流而引起的温差 ,利用二维结构同时获得风速风向信息。本文首先介绍热薄膜温差型风速风向传感器原理 ,给出了具体结构和工艺 ,最后对样品进行了风洞测试 ,传感器能够测量风速 0～ 2 3 m/ s且 3 60°方向敏感
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| 关 键 词： | CMOS CTD 硅热流量风速风向传感器 温差型 |
| 文章编号： | 1005-9490(2004)03-0486-04 |
Thermal-Film Temperature-Difference-Based CMOS Wind Sensor Design and Realization |
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| CHENG Hai-yang,QIN Ming,GAO Dong-hui,ZHU Hao.Thermal-Film Temperature-Difference-Based CMOS Wind Sensor Design and Realization[J].Journal of Electron Devices,2004,27(3):486-489. |
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| Authors: | CHENG Hai-yang QIN Ming GAO Dong-hui ZHU Hao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CMOS CTD silicon thermal wind sensor temperature difference |
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