| MgO过渡层对PET基SiO2薄膜结合强度的影响 |
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| 作者姓名： | 丁泽良 董运超 林长生 |
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| 作者单位： | 湖南工业大学 机械工程学院,湖南 株洲,412007 |
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| 基金项目： | 湖南省自然科学基金资助项目（2015JJ5019） |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射镀膜机制备了含有MgO过渡层的SiO2/MgO/PET复合薄膜,并通过垂直拉伸法测量了所得复合薄膜的结合强度,探讨了过渡层对复合膜结合强度的影响规律.结果表明:在PET基材与SiO2膜层之间引入MgO过渡层后,SiO2/MgO/PET复合膜的结合力较SiO2/PET复合膜提高了80%以上;MgO过渡层的制备参数对SiO2/MgO/PET复合膜的结合强度有着重要影响,结合强度随本底真空度的增高而增大,随射频功率、氩气流量、溅射时间的增大而呈现先增大后减小的变化规律;4个制备参数对结合强度的影响程度由大到小依次是本底真空度、射频功率、氩气流量和溅射时间;4个制备参数较优的水平组合为本底真空度0.5×10-3Pa、射频功率250 W、溅射时间12 min、氩气流量20 mL·min-1.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 过渡层 工艺参数 结合强度 |
| 收稿时间： | 2014-12-26 |
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