IC生产线上离子注入剂量测试方法

在IC生产线上，对离子注入剂量的监控非常重要。目前，离子注入剂量的测试方法有很多种，它们在测试原理、仪器价格、测试灵敏度、样品制备和操作方便性等方面存在较大差异。本文重点介绍了MOSC—V法、扩展电阻探针（SRP）法和热波（TW）法的测试原理和测试过程，并比较分析了上述各种测试方法的优缺点，从而给实际工作中选择合适的测试方法监控离子注入剂量提供参考。