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一种新的大规模集成电路原图图形的最小切割算法
作者姓名:
洪先龙
徐庆林
作者单位:
清华大学计算机工程与科学系(洪先龙),一机部自动化所(徐庆林)
摘 要:
本文提出了一种新的多边形最小切割算法,它用于大规模集成电路计算机辅助制版,将原图图形转换成一组矩形,使得图形发生器能够以最小曝光次数制作掩膜版。文中给出了在任何情况下多边形的最小切割公式及其理论证明,并提出了在计算机上实现的算法步骤。它改进了日本小山田、暂治在1974年提出的结论。
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