| 聚甲基丙烯酸甲酯薄膜表面的亚微米级图案化 |
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| 引用本文： | 晏海英,姚树寅,吴仲岿,陈红.聚甲基丙烯酸甲酯薄膜表面的亚微米级图案化[J].材料导报,2009,23(8). |
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| 作者姓名： | 晏海英 姚树寅 吴仲岿 陈红 |
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| 作者单位： | 1. 武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉,430070
2. 武汉理工大学材料科学与工程学院,武汉,430070;武汉理工大学材料复合新技术国家重点实验室,武汉,430070 |
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| 摘 要： | 利用波长为172nm的真空紫外光刻蚀技术(Vacuum ultraviolet lithography,VUV)对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜的表面进行了图案化微加工,并采用扫描电镜和原子力显微镜对微图案化的PMMA膜的表面形貌进行了表征.此外,还通过跟踪测试真空紫外光照后PMMA膜表面随时间变化的水接触角研究了表面的亲疏水性.结果表明,利用该方法可以成功地在PMMA基材上一次性制备出保真度较好的亚微米级微流道,而且使微流道内表面具有稳定持久的亲水性.
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| 关 键 词： | 微流道 图案化 真空紫外光刻 亲水性 |
Sub-micron-patterned of PMMA Film Surface |
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| YAN Haiying,YAO Shuyin,WU Zhongkui,CHEN Hong.Sub-micron-patterned of PMMA Film Surface[J].Materials Review,2009,23(8). |
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| Authors: | YAN Haiying YAO Shuyin WU Zhongkui CHEN Hong |
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| Affiliation: | 1 School of Materials Science and Engineering;Wuhan University of Technology;Wuhan 430070;2 State Key Laboratory ofAdvanced Technology for Materials Synthesis and Processing;Wuhan 430070 |
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| Abstract: | The sub-micron scale patterns is fabricated on polymethyl methacrylate(PMMA) surface by using vacuum ultraviolet lithography(VUV) at a wavelength of 172nm.The morphology of patterned PMMA surface is characterized by scanning electron microscopy(SEM) and atomic force microscopy(AFM),respectively.Besides,the hydrophilicility of VUV-exposed PMMA surface is analyzed by static water contact angle.The results show that sub-micron channels with high-fidelity are successfully prepared via one step manufacture and h... |
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