Na/Mg共掺ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及特性研究北大核心CSCD |
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引用本文: | 张彩珍,陈永刚,刘肃,王永顺.Na/Mg共掺ZnO薄膜的溶胶-凝胶法制备及特性研究北大核心CSCD[J].半导体技术,2016(7):547-550. |
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作者姓名: | 张彩珍 陈永刚 刘肃 王永顺 |
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作者单位: | 1.兰州交通大学电子与信息工程学院730000;2.兰州交通大学自动化与电气工程学院730070;3.兰州大学物理科学与技术学院730000; |
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基金项目: | 甘肃省高校基本科研基金资助项目(620027) |
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摘 要: | 利用溶胶-凝胶旋转涂膜法在耐热玻璃衬底上制备了不同膜厚的Na/Mg共掺ZnO薄膜。重点研究了膜厚对Na/Mg共掺ZnO薄膜结构和光学特性的影响。扫描电子显微镜(SEM)图像和X射线衍射(XRD)图谱分析结果表明,膜厚为200~500 nm时,随着膜厚的增加,薄膜的结晶性、致密性及c轴择优取向生长特性都呈现出先增强后降低的趋势。透射光谱分析结果表明,薄膜在可见光范围内的平均透光率随着膜厚的增加而显著下降。实验条件下,膜厚约为300 nm的Na/Mg共掺ZnO薄膜具有优良的结构特性和透光特性。荧光光致发光(PL)谱表明该薄膜中缺陷很少,是优良的紫外发光材料。
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关 键 词: | Na/Mg共掺 ZnO 薄膜 溶胶-凝胶 表面形貌 |
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