| 计算机模拟类金刚石薄膜的光学性能研究 |
| |
| 引用本文： | 柴展 徐卫平 侯晓多 张贵锋. 计算机模拟类金刚石薄膜的光学性能研究[J]. 中国材料科技与设备, 2006, 3(3): 57-60 |
| |
| 作者姓名： | 柴展 徐卫平 侯晓多 张贵锋 |
| |
| 作者单位： | [1]大连理工大学材料科学与工程学院,辽宁大连116024 [2]三束材料表面改性国家重点实验室,辽宁大连116024 |
| |
| 基金项目： | 辽宁省原材料特种制备技术重点实验室资助项目 |
| |
| 摘 要： | 采用射频等离子体化学气相法在BK7玻璃样品上合成了类金刚石薄膜，基于介电模型对样品的光学透射谱进行计算机拟合，得到类全刚石薄膜的折射率和膜厚等性能指标。研究了甲烷浓度，射频功率密度和沉积压力等工艺参数对类金刚石薄膜的光学特性影响规律。试验表明折射率和生长速率均随甲烷浓度和功率密度增加而增加；气体压力对生长速率的影响最显著。
|
| 关 键 词： | 射频等离子体 类金刚石薄膜 光谱拟合 介电模型 |
Dielectric Properties of Diamond- like Carbon Films Obtained by Simulating Optical Spectrum |
| |
| CHAI Zhan , XU Wei -ping, HOU Xiao -duo, ZHANG Gui -feng. Dielectric Properties of Diamond- like Carbon Films Obtained by Simulating Optical Spectrum[J]. Chinese Materials Science Technology & Equipment, 2006, 3(3): 57-60 |
| |
| Authors: | CHAI Zhan XU Wei -ping HOU Xiao -duo ZHANG Gui -feng |
| |
| Affiliation: | 1. School of Materials Science and Engineering, Liaoning, Dalian, 116024, China; 2. State Key Laboratory of Materials Modification by Ion, Electron, and Laser Beams, Liaoning, Dalian, 116024, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ |
|
