| 基片温度对氧化铋薄膜光学性质的影响 |
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| 引用本文： | 郑明志,吕佩伟,林丽梅,瞿燕,赖发春.基片温度对氧化铋薄膜光学性质的影响[J].福建师范大学学报(自然科学版),2011,27(2):57-61. |
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| 作者姓名： | 郑明志 吕佩伟 林丽梅 瞿燕 赖发春 |
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| 作者单位： | 福建师范大学物理与光电信息科技学院,福建,福州,350108 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，福建省教育厅资助项目 |
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| 摘 要： | 在玻璃基片上直流磁控溅射沉积氧化铋薄膜,基片温度从室温增加到300℃并保持其它沉积条件一致,研究基片温度对薄膜光学性能的影响.样品的晶体结构、表面形貌和透射光谱分别用X射线衍射仪、原子力显微镜和分光光度计进行测量.结果表明,随着基片温度的增加,样品中Bi2O3的(120)衍射峰强度增强,表面颗粒直径逐渐减小;基片温度为...
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| 关 键 词： | 氧化铋 薄膜 基片温度 光学性质 |
Effect of Substrate Temperature on Optical Properties of Bismuth Oxide Thin Films |
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| ZHENG Ming-zhi,Lu Pei-wei,LIN Li-mei,QU Yan,LAI Fa-chun.Effect of Substrate Temperature on Optical Properties of Bismuth Oxide Thin Films[J].Journal of Fujian Teachers University(Natural Science),2011,27(2):57-61. |
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| Authors: | ZHENG Ming-zhi Lu Pei-wei LIN Li-mei QU Yan LAI Fa-chun |
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| Affiliation: | ZHENG Ming-zhi,Lü Pei-wei,LIN Li-mei,QU Yan,LAI Fa-chun(School of Physics and OptoElectronics Technology,Fujian Normal University,Fuzhou 350108,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | bismuth oxide films substrate temperature optical properties |
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