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双栅MOSFET工作原理与制造工艺
引用本文:石广元.双栅MOSFET工作原理与制造工艺[J].辽宁大学学报(自然科学版),1995,22(A00):68-72.
作者姓名:石广元
摘    要:本文论述了双栅MOSFET的特性和工作原理,简单介绍了N沟Al双栅MOSFET的结构设计和制造工艺。

关 键 词:MOSFET  半导体器件  工作原理  制备
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