| 热灯丝CVD沉积金刚石膜系统中负衬底偏压增强活性离子流量的理论分析 |
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| 引用本文： | 王必本,王万录,廖克俊,肖金龙. 热灯丝CVD沉积金刚石膜系统中负衬底偏压增强活性离子流量的理论分析[J]. 河南师范大学学报(自然科学版), 2000, 28(4): 22-26 |
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| 作者姓名： | 王必本 王万录 廖克俊 肖金龙 |
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| 作者单位： | 重庆大学理学院应用物理系,重庆,400044 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目!( 1 990 4 0 1 6) |
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| 摘 要： | 本对热灯丝ＣＶＤ沉积金刚石膜的核化过程进行了分析，从理论上研究了负衬底偏压增强活性离子的流量。
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| 关 键 词： | 热灯丝CVD 负衬底偏压 活性离子 金刚石膜 沉积 |
| 修稿时间： | 1999-12-20 |
Theory Analysis of Negative Substrate Bias Enhancing Flux of Active Ions in Filament Chemical Vapor Depostion Diamond Film System |
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| WANGBi-ben,WANGWan-lu,LIAOKe-jun,XIAOJin-long. Theory Analysis of Negative Substrate Bias Enhancing Flux of Active Ions in Filament Chemical Vapor Depostion Diamond Film System[J]. Journal of Henan Normal University(Natural Science), 2000, 28(4): 22-26 |
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| Authors: | WANGBi-ben WANGWan-lu LIAOKe-jun XIAOJin-long |
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| Abstract: | In this paper,the nucleation process of diamond by filament CVD was analyzed,and enhanced flux of ions by negative substrate bias was investigated in theory. |
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| Keywords: | hot filament CVD negative substrate bias active io8 |
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