推广之窗 |
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摘 要: | 机械类新型脉冲直流PCVD模具表面强化设备与成套技术编号:T201113该项目将脉冲直流辉光放电引入化学气相沉积过程中,显著降低了沉积温度,并对复杂形状模具表面强化有独特效果。该设备有效容积Φ450mm×Φ650mm,承载能力500kg;真空炉体选用钟罩式结构,气密性好,真空极限1Pa;炉体内安装内热式加热系统,比外热式设备显著提高了热效率及加热速率。采用逆变式脉冲直流等离子电源,在较宽的范围内可实现稳定的气体放电,可施加一定的负脉冲,有利于制备导电性不良的镀层。流量控制系统采用了5路质量流量计,并采用Ti…
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