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| FB—Ⅰ型精密接触式翻版机试制成功 | |
| 作者姓名： | 沈建森 |
| 作者单位： | 上海市光学工业公司 |
| 摘 要： | 最近上海第二光学仪器厂研制成功了FB—Ⅰ型精密接触式翻版机,该翻版机是大规模集成电路生产过程中的关键设备。该项目的研制任务是国家仪器仪表工业总局下达的重点项目之一。于81年9月在上海进行了国家鉴定。参加这次鉴定会的有中国科学院技术科学部、国家仪表工业总局、上海市科委、上海市仪表局等领导部门,有大专院 |
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