| 一种硅基静电微马达 |
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| 引用本文： | 谢会开 孙曦庆. 一种硅基静电微马达[J]. 功能材料与器件学报, 1996, 2(3): 143-146 |
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| 作者姓名： | 谢会开 孙曦庆 |
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| 作者单位： | Institute of Microelectronics，Tsinghua University，Beijing 100084 |
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| 摘 要： | 本文介绍我们最近研制的一种硅基集成微马达。其制作工艺非常简单，仅包括四次光刻，两次多晶硅薄膜淀积和两次ＳｉＯ２牺牲层淀积。实现了快速、方便及批量地制作测量分析用的微马达样品。该微马达转子和定子由厚度为２．５μｍ左右的ＬＰＣＶＤ多晶硅膜一次形成，因而转子与定子的间距可减小到１．０￣１．５μｍ。
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| 关 键 词： | 硅基 静电微马达 微电机 |
A Silicon-Based Integrated Micromotor |
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| XIE Huikai,SUN Xiqing,LIU Litian,LI Zhijian. A Silicon-Based Integrated Micromotor[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 1996, 2(3): 143-146 |
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| Authors: | XIE Huikai SUN Xiqing LIU Litian LI Zhijian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micromotor Silicon -based |
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