| SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展 |
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| 引用本文： | 李建昌,韩小波,韩娜,巴德纯. SnO_2复合薄膜甲烷气敏传感器研究进展[J]. 真空科学与技术学报, 2010, 30(6). DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.06.14 |
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| 作者姓名： | 李建昌 韩小波 韩娜 巴德纯 |
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| 基金项目： | 中央高校基本科研业务费专项资金资助项目 |
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| 摘 要： | 甲烷是具有稳定四面体分子结构的碳氢化合物,其键能大、分解困难且活性低,是煤矿安全生产的主要障碍及一种温室气体。SnO2半导体薄膜制备工艺简单、成本低廉、性能稳定,是甲烷传感器研发的主流气敏材料。科技人员进行了很多相关研究以提高传感器的性能,如新气敏材料的研究、催化剂/添加剂的使用、气敏机理的探索、传感器结构改进及气敏膜的表面修饰改性等。本文从气敏膜制备与改性、传感器结构设计及气敏机理研究三个方面,综述了近年来SnO2复合薄膜甲烷传感器的研究进展,结果表明:①应开发复合型金属氧化物半导体及高分子气敏材料,以提高灵敏度、选择性与稳定性;②研发微型智能传感器是未来发展的主要方向,而自组装技术应可用于制备金属氧化物半导体薄膜气体传感器微纳阵列;③气敏机理应与实验测试、材料设计及器件制备进行对照研究。
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| 关 键 词： | 甲烷 二氧化锡 气体传感器 金属氧化物半导体薄膜 |
Latest Development of Methane Sensors Made of SnO2 Composite Films |
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| Li Jianchang,Han Xiaobo,Han Na,Ba Dechun. Latest Development of Methane Sensors Made of SnO2 Composite Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2010, 30(6). DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.06.14 |
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| Authors: | Li Jianchang Han Xiaobo Han Na Ba Dechun |
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