| 电子束法沉积ITO膜的XPS研究 |
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| 引用本文： | 张瑞峰,李兴林,于英.电子束法沉积ITO膜的XPS研究[J].真空科学与技术学报,1993(4). |
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| 作者姓名： | 张瑞峰 李兴林 于英 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春应用化学研究所，中国科学院长春应用化学研究所，长春市成人文理学院 长春 130022，长春 130022，长春 |
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| 摘 要： | 采用电子束蒸发法制备了均匀、致密、透明导电的ITO膜。讨论了其光电性能,并用XPS技术研究了ITO膜的表面组成、结构和状态。
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| 关 键 词： | 电子束 沉积 XPS |
XPS STUDY OF THE ITO FILMS DEPOSITED BY ELECTRON BEAM |
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| Zhang Ruifeng,Li Xinglin.XPS STUDY OF THE ITO FILMS DEPOSITED BY ELECTRON BEAM[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1993(4). |
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| Authors: | Zhang Ruifeng Li Xinglin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Electron beam Deposition XPS |
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