三氯氢硅合成湿法除尘系统的优化

采用Aspen Plus流程模拟软件，对三氯氢硅的合成工艺进行了流程模拟与优化，主要考察了洗涤塔的塔盘数量、喷淋量、排渣量、工艺气体进口温度等因素，对三氯氢硅合成洗涤塔的洗涤效果的影响。以三氯氢硅合成装置冷氢化外排的废硅粉为原料，与氯化氢在三氯氢硅合成炉内进行反应生成氯硅烷，工艺气体的进口温度为300℃。为确保产品液中的金属杂质含量低于10ppbw，洗涤塔的塔盘数量≥5块，最佳喷淋量为3700kg·h^-1，最佳排渣量为190kg·h^-1。工艺气体的进口温度与喷淋量的关系可用关系式y=13.26x-313.33表示。