| ZnO∶Tb透明导电薄膜的制备及其特性研究 |
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| 引用本文： | 方泽波,朋兴平,谭永胜,何志巍,王印月. ZnO∶Tb透明导电薄膜的制备及其特性研究[J]. 稀有金属, 2004, 28(3): 502-504 |
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| 作者姓名： | 方泽波 朋兴平 谭永胜 何志巍 王印月 |
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| 作者单位： | 兰州大学物理系,甘肃,兰州,730000 |
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| 基金项目： | 甘肃省自然科学基金 (ZS0 11 A2 5 0 5 0 C)资助项目 |
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| 摘 要： | 用RF磁控反应共溅射法在Si( 111)衬底上制备出了铽 (Tb)掺杂的ZnO透明导电薄膜。研究了溅射中Tb掺杂量对ZnO薄膜的结构、电学和光学特性的影响。结果表明 ,在最佳沉积条件下我们制备出了具有良好c轴取向 ,电阻率降低到 9.3 4× 10 - 4Ω·cm ,且可见光段 ( 4 0 0～80 0nm)平均透过率大于 80 %的ZnO∶Tb新型透明导电材料。
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| 关 键 词： | ZnO RF溅射 透明导电薄膜 |
| 文章编号： | 0258-7076(2004)03-0502-03 |
| 修稿时间： | 2003-09-15 |
Characteristics and Preparation of Transparent Conductive ZnO∶Tb Films |
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| Fang Zebo,Peng Xinping,Tan Yongsheng,Wang Yinyue. Characteristics and Preparation of Transparent Conductive ZnO∶Tb Films[J]. Chinese Journal of Rare Metals, 2004, 28(3): 502-504 |
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| Authors: | Fang Zebo Peng Xinping Tan Yongsheng Wang Yinyue |
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| Affiliation: | Fang Zebo,Peng Xinping,Tan Yongsheng,Wang Yinyue~* |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO films RF actively sputtering transparent conductive films |
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