| 钼掺杂降低TiO2氧敏薄膜最佳工作温度研究 |
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| 引用本文： | 程东升,孙以材,潘国锋,袁育杰.钼掺杂降低TiO2氧敏薄膜最佳工作温度研究[J].传感器与微系统,2006,25(7):15-17. |
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| 作者姓名： | 程东升 孙以材 潘国锋 袁育杰 |
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| 作者单位： | 河北工业大学,信息工程学院,天津,300130 |
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| 摘 要： | 用直流反应磁控溅射法在陶瓷基片上制备出TiO2薄膜.并进行1100℃,2h的退火处理.配置钼酸铵溶液,利用浸渍法处理TiO2薄膜若干时间.取出后,进行500℃,3h退火处理.用气敏测试箱对制备出的TiO2薄膜的氧敏特性进行试验测试,发现对氧气有很好的敏感特性,比未经此项工艺处理的TiO2薄膜的最佳工作温度降低100℃,为300℃左右,并进行SEM测试,分析其表面结构,研究气敏机理.
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 钼酸铵 最佳工作温度 氧敏特性 钼掺杂 氧敏薄膜 最佳 工作温度 研究 doping thin films temperature operating best 气敏机理 表面结构 分析 试验测试 温度降 工艺处理 敏感特性 氧气 发现 氧敏特性 |
| 文章编号： | 1000-9787（2006）07-0015-03 |
| 收稿时间： | 2005-10-29 |
| 修稿时间： | 2005年10月29日 |
Research on reducing best operating temperature of TiO2 thin films through doping Mo |
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| CHENG Dong-sheng,SUN Yi-cai,PAN Guo-feng,YUAN Yu-jie.Research on reducing best operating temperature of TiO2 thin films through doping Mo[J].Transducer and Microsystem Technology,2006,25(7):15-17. |
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| Authors: | CHENG Dong-sheng SUN Yi-cai PAN Guo-feng YUAN Yu-jie |
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| Affiliation: | Institute of Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin 300130, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiO2 thin films ammonium molybdate best operating temperature oxygen-sensing properties |
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