黄绿色荧光成像用环烯烃共聚物镜片减反膜的研制

针对黄绿色荧光成像过程中由于发光微弱导致细节丢失的问题，以环烯烃共聚物中的F52R材料为基底镜片，采用电子束离子辅助蒸发的方法制备了可见光波段黄绿光高通型的减反膜。根据光谱使用要求，利用膜系设计软件TFCalc进行了膜系的设计和优化；通过离子源沉积工艺的优化，解决了低温镀制过程中膜层牢固度的问题。测试结果表明：当光线的入射角为5°时，400～700nm平均反射率约为0.55%,500～600nm的黄绿光平均反射率约为0.29%，光谱曲线呈现黄绿光高通的形状，满足使用要求。