| 基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试 |
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| 引用本文： | 徐临燕,栗大超,邱晗,胡小唐,赵大博. 基于显微激光多普勒的纳结构振动特性测试[J]. 光电子．激光, 2008, 19(6): 781-785 |
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| 作者姓名： | 徐临燕 栗大超 邱晗 胡小唐 赵大博 |
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| 作者单位： | 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 为了分析NEMS典型器件静电激励纳米梁谐振器的振动特性,建立了测试中的关键模型静电激励纳米梁谐振器的等效电学模型、纳米梁谐振器的等效机械模型,以及静电激励纳梁谐振器在受激状态下受到的静电力与静电激励的相互关系模型.利用基于显微激光多普勒纳结构离面振动测试系统,对静电激励纳米梁谐振器的离面振动特性进行了测试,试结果验证了建模的正确性,同时对NENS加工工艺进行了评价和表征.
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| 关 键 词： | NEMS 显微激光多普勒 振动特性 谐振频率 静电激励 纳米梁谐振器 |
| 文章编号： | 1005-0086(2008)06-0781-05 |
| 修稿时间： | 2006-11-13 |
Analysis and characterization of nanostructure out-of-plane vibrations using micro laser doppler |
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| XU Lin-yan,LI Da-chao,QIU Han,HU Xiao-tang,ZHAO Da-bo. Analysis and characterization of nanostructure out-of-plane vibrations using micro laser doppler[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2008, 19(6): 781-785 |
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| Authors: | XU Lin-yan LI Da-chao QIU Han HU Xiao-tang ZHAO Da-bo |
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| Affiliation: | XU Lin-yan,LI Da-chao,QIU Han,HU Xiao-tang,ZHAO Da-bo(State Key of Laboratory of Precision Measuring Technology , Instruments,Tianjin University,Tianjin 300072,China) |
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| Abstract: | The theory and method of nanostructure out-of-plane vibration measurement technique based on micro laser Doppler are expounded.The test system for nanostructure out-of-plane vibration based on Doppler vibrometer is set up.For the characterization of the vibration properties of NEMS representative device electrostatic-actuated nanobeam,three key models are established:the equivalent electrical model of electrostatic-actuated nanobeam,the equivalent mechanical model of nanobeam,the correlation model of electr... |
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| Keywords: | NEMS micro laser doppler vibration characteristic resonating frequency electrostatic actuation nanobeam resonator |
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