光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究<b class="markJ">简</b> 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究简

引用本文：	申远,王怡影,竺长安,齐向东.光栅刻划机超精密定位系统定位控制研究简[J].中国科学技术大学学报,2014(2):165-170.

作者姓名：	申远王怡影竺长安齐向东

摘要：
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