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| 设备自动化作业系统的设计与实现 | |
| 引用本文： | 黄海平.设备自动化作业系统的设计与实现[J].机电信息,2009(30):177-179. |
| 作者姓名： | 黄海平 |
| 作者单位： | 无锡机电高等职业技术学校,江苏无锡214000 |
| 摘 要： | 优化设备作业流程可提高生产效率和提升效益。对现有设备作业流程进行分析,针对作业流程的关键问题——提高设备的利用率和晶圆片的产能,提出设备自动化作业系统优化作业流程以及与MES系统、GUI系统交互、信息共享的解决方案,应用于某半导体企业中并取得较好效果。 |
| 关 键 词： | 设备自动化作业系统 半导体设备通信标准 Java消息服务 |
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