| 用磁控溅射和退火方法制备AlSb多晶薄膜 |
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| 引用本文： | 陈卫东,冯良桓,雷智,张静全,武莉莉,蔡伟,蔡亚平,姚菲菲,李卫,黎兵,郑家贵.用磁控溅射和退火方法制备AlSb多晶薄膜[J].半导体学报,2006,27(3):541-544. |
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| 作者姓名： | 陈卫东 冯良桓 雷智 张静全 武莉莉 蔡伟 蔡亚平 姚菲菲 李卫 黎兵 郑家贵 |
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| 作者单位： | 四川大学材料科学与工程学院,成都 610064;四川大学材料科学与工程学院,成都 610065;四川大学材料科学与工程学院,成都 610066;四川大学材料科学与工程学院,成都 610067;四川大学材料科学与工程学院,成都 610068;四川大学材料科学与工程学院,成都 610069;四川大学材料科学与工程学院,成都 610070;四川大学材料科学与工程学院,成都 610071;四川大学材料科学与工程学院,成都 610072;四川大学材料科学与工程学院,成都 610073;四川大学材料科学与工程学院,成都 610074 |
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| 摘 要： | 采用磁控溅射法在玻璃衬底上制备Al/Sb预制多层薄膜,然后将Al/Sb预制多层薄膜在退火炉中退火得到AlSb多晶薄膜.用X射线衍射(XRD)法测薄膜结构;用扫描电镜(SEM)测薄膜Al/Sb成分比,结果表明AlSb多晶薄膜具有单一的晶相、均匀的结构,以及粒径大约20nm的晶粒.根据电导率(lnσ)与温度(T)的关系得到电导激活能为0.21和0.321eV,为制备出适用于太阳电池的AlSb多晶薄膜奠定了一定的技术基础.
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| 关 键 词： | AlSb多晶薄膜 磁控溅射 退火 太阳电池 磁控溅射法 退火炉 法制 多晶薄膜 Annealing Magnetron Sputtering Films Polycrystalline 技术基础 太阳电池 激活能为 电导率 关系 温度 晶粒 粒径 薄膜结构 均匀 晶相 结果 |
| 文章编号： | 0253-4177(2006)03-0541-04 |
| 收稿时间： | 07 22 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 11 26 2005 12:00AM |
Growth of AlSb Polycrystalline Films by Magnetron Sputtering and Annealing |
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| Chen Weidong,Feng Lianghuan,Lei Zhi,Zhang Jingquan,Wu Lili,Cai Wei,Cai Yaping,Yao Feifei,Li Wei,Li Bing and Zheng Jiagui.Growth of AlSb Polycrystalline Films by Magnetron Sputtering and Annealing[J].Chinese Journal of Semiconductors,2006,27(3):541-544. |
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| Authors: | Chen Weidong Feng Lianghuan Lei Zhi Zhang Jingquan Wu Lili Cai Wei Cai Yaping Yao Feifei Li Wei Li Bing and Zheng Jiagui |
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| Affiliation: | College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610064,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610065,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610066,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610067,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610068,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610069,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610070,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610071,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610072,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610073,China;College of Material Science and Engineering,Sichuan University,Chengdu 610074,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | AlSb polycrystalline thin films magnetron sputtering annealing solar cell |
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