| 利用脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量 |
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| 引用本文： | 张彤,胡安,毛福明,杨学谦.利用脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量[J].真空科学与技术学报,2002,22(5):376-378. |
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| 作者姓名： | 张彤 胡安 毛福明 杨学谦 |
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| 作者单位： | 1. 南京大学固体微结构物理实验室,南京,210093
2. 东南大学电子工程系,南京,210096 |
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| 摘 要： | 本文介绍脉冲调制电子探束测量电子诱导脱附阈值能量方法的原理 ,同时给出该法进行电子诱导脱附阈值能量测量的实验及结果。与传统的直流电子探束测量电子诱导脱附阈值能量的方法相比 ,使得测量设备简化的同时 ,有效地提高测量的准确性和精度 ,使电子诱导脱附阈值能量的测量拓展到高真空的范围。
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| 关 键 词： | 电子诱导脱附 阈值能量 脉冲调制电子探束 |
| 文章编号： | 0253-9748(2002)05-0376-03 |
| 修稿时间： | 2001年10月23 |
Measurement of Threshold Energy of Electron-stimulated Desorption by Pulse-modulated Electron Beam |
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| Zhang Tong,Hu An.Measurement of Threshold Energy of Electron-stimulated Desorption by Pulse-modulated Electron Beam[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2002,22(5):376-378. |
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| Authors: | Zhang Tong Hu An |
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| Abstract: | The threshold energy of the electron stimulated desorption was successfully measured by means of the pulse modulated electron beam.The advantages of the new technique over the conventional measurement using dc electron beams include much higher accuracy,easier operation and simpler intrumentation.Moreover,the measurement can be performed in high vacuum as well. |
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| Keywords: | Electron stimulated desorption Threshold energy Pulse modulated electron beams |
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