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| 一种较简易的磨角显示 | |
| 作者姓名： | 林文长 |
| 作者单位： | 1413所 |
| 摘 要： | 这里介绍的磨角法具有操作容易实用方便和不易碎片等优点.尤其是用来在薄的芯片上作特定部位的磨角显示更为方便.我们在对集成电路的芯片作纵向参数的解剖与分折时,曾用此法方便地在不到4mm~2厚度为200～300μ的芯片上选了7、8个特定部位作磨角显示,效果良好.下面对这一方法和原理作简单介绍.1.方法与步骤:①将2mm厚的制版玻璃边角料,划成30×100mm的方块和30×7mm的窄条.②用蜡将玻璃窄条粘在长方形玻璃板上,如图a所示.样品的结较深时可粘在位置 |
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