10 μm 1 280 × 1 024 HgCdTe中波红外焦平面阵列探测性能提升 |
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引用本文: | 谭必松,毛剑宏,陈殊璇,李伟伟,陈世锐,陈天晴,杜宇,彭成盼,熊雄,周永强,余波,王舒.10 μm 1 280 × 1 024 HgCdTe中波红外焦平面阵列探测性能提升[J].红外与毫米波学报,2024,43(1):36-43. |
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作者姓名: | 谭必松 毛剑宏 陈殊璇 李伟伟 陈世锐 陈天晴 杜宇 彭成盼 熊雄 周永强 余波 王舒 |
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作者单位: | 浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000,浙江珏芯微电子有限公司,浙江 丽水 323000 |
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摘 要: | 对像元尺寸为10 μm的1280×1024碲镉汞(HgCdTe)中波红外焦平面阵列的制备技术和性能进行了研究。通过B+注入制备小尺寸n-on-p平面结;采用高平整度HgCdTe外延材料和高精度的倒焊互连技术,实现高的电学连通率;采用多段温度填胶固化和边缘刻蚀工艺减轻HgCdTe器件和读出集成电路(ROICs)之间的热失配,从而降低焦平面器件失效率。在85 K焦平面工作温度下,研制探测器的光谱响应范围为3.67 μm至4.88 μm,有效像元率高达99.95%,并且探测器组件像元的平均噪声等效温差(NETD)和暗电流密度的平均值分别小于16 mK和2.1×10-8 A/cm2。与像元尺寸为15 μm的探测器相比,10 μm的1280×1024中波红外探测器可获取更加精细的图像,具有更远的识别距离。目前,该技术已成功转移到浙江珏芯微电子有限公司(ZJM)的HgCdTe红外探测器产线。
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关 键 词: | 红外探测器 碲镉汞 1K×1K 红外焦平面阵列 n-on-p |
收稿时间: | 2023/3/26 0:00:00 |
修稿时间: | 2023/11/29 0:00:00 |
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