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杂志ISSN号
真空微电子学的新发展
作者姓名:
廖复疆
作者单位:
北京真空电子技术研究所
摘 要:
本文描述了正在兴起的一门新学科——真空微电子学——的发展概况,它的工作原理,微型真空三极管的构造及集成加工技术。详细给出了薄膜场致发射阴极的制造过程,讨论了这类器件的应用领域及需进一步研究的问题。
关 键 词:
微电子学 真空微电子学 真空电子学
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