一种利用负压吸动效应的动态配气方法<b class="markJ">简</b> 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

一种利用负压吸动效应的动态配气方法简

引用本文：	余翠兰,余愚,梁其诚,邓志平.一种利用负压吸动效应的动态配气方法简[J].真空科学与技术学报,2014(1):1-4.

作者姓名：	余翠兰余愚梁其诚邓志平

摘要：
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