| 一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计 |
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| 引用本文： | 崔金强,姜澄宇,苑伟政,常洪龙,蒋庆华.一种新型挠性轴内置式扭摆微加速度计的设计[J].微纳电子技术,2007(8). |
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| 作者姓名： | 崔金强 姜澄宇 苑伟政 常洪龙 蒋庆华 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,陕西省微/纳米系统重点实验室,西安,710072 西北工业大学,陕西省微/纳米系统重点实验室,西安,710072 西北工业大学,陕西省微/纳米系统重点实验室,西安,710072 西北工业大学,陕西省微/纳米系统重点实验室,西安,710072 西北工业大学,陕西省微/纳米系统重点实验室,西安,710072 |
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| 摘 要： | 针对扭摆式加速度计的结构特点,为了有效利用硅片面积和提高质量块质量,设计了一种新型挠性轴内置于质量块的扭摆式加速度计,该结构具有检测电极和力反馈电极.根据结构设计参数,推导出中心敏感电容、等效质量、机械灵敏度的参数表达式.利用扭摆加速度计的数学模型,建立了加速度计表头系统级模型,并结合接口电路进行闭环整体仿真,调整校正环节参数,得到闭环系统性能指标.最后进行初步开环测试,测得加速度计的灵敏度为33 mV/g,非线性度2.29%.
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| 关 键 词： | 硅微加速度计 挠性轴内置 闭环仿真 开环测试 |
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