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平晶干涉图象的识别
引用本文:
程维中.平晶干涉图象的识别[J].计量技术,1983(4).
作者姓名:
程维中
作者单位:
杭州市计量所
摘 要:
应用平晶检查精密零件表面状况,特别用来确定表面的平面度误差是极其普遍的。平晶检验零件的理论基础是薄板干涉原理。通常检验时,光线大致垂直地照射被测零件表面,即折射角i≈0,因而光程差近似公式为:
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