|
|||||
|
|
| 高频响MEMS石墨烯压力传感器设计 | |
| 引用本文： | 郑士瑜,侯文,王俊强,范宏斌,吴天金,李孟委.高频响MEMS石墨烯压力传感器设计[J].仪表技术与传感器,2023(1):12-16. |
| 作者姓名： | 郑士瑜 侯文 王俊强 范宏斌 吴天金 李孟委 |
| 作者单位： | 1.中北大学仪器与电子学院030051;2.中北大学前沿交叉科学研究院030051;3.中北大学信息与通信工程学院030051; |
| 基金项目： | “173”项目(2017JCJQZD00604)。 |
| 摘 要： | 为了满足在恶劣环境下爆炸冲击波压力的测量需求，提出了一种结构为上层“膜+凸柱”与下层“十字梁”的高频响MEMS石墨烯压力传感器。使用ANSYS workbench软件对该结构进行分析，结果表明，其频响为1.34 MHz,在满量程60 MPa情况下，十字梁根部位置处石墨烯的应变最高可达0.259%。最后，使用方块电阻计算方法对石墨烯电阻值进行预估。为高频响石墨烯压力传感器的设计提供了一定的可行性的结构方案。 |
| 关 键 词： | 高频响 石墨烯 压阻效应 MEMS 压力传感器 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
