空间飞行器用薄膜温度/应变传感技术研究 |
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引用本文: | 马东锋,熊玉卿,何延春,张凯峰,曹生珠.空间飞行器用薄膜温度/应变传感技术研究[J].真空与低温,2024(1):10-22. |
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作者姓名: | 马东锋 熊玉卿 何延春 张凯峰 曹生珠 |
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作者单位: | 兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室 |
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基金项目: | 甘肃省青年科技基金(22JR5RA788); |
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摘 要: | 随着功能薄膜制备方法及微细加工技术的日益成熟,基于各类薄膜敏感元件的薄膜传感技术蓬勃发展。薄膜传感器件尺寸小、集成度高、灵敏度高,在深空探测、空间飞行器结构健康监测、载人航天等领域展现出广阔的应用前景。针对空间飞行器的各类传感需求,对低温/高温温度传感、热流传感、高温应变传感、柔性大应变传感、柔性智能蒙皮等应用中薄膜传感材料和器件的关键技术及国内外研究现状进行了综述,并对薄膜传感技术的未来发展进行了展望。
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关 键 词: | 薄膜传感器 温度传感 应变传感 智能蒙皮 |
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