| 蓝宝石晶片中微/纳米缺陷散射特性的仿真 |
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| 引用本文： | 程洁,王湘宁,肖永亮,喻更生. 蓝宝石晶片中微/纳米缺陷散射特性的仿真[J]. 中国激光, 2019, 0(4): 129-135 |
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| 作者姓名： | 程洁 王湘宁 肖永亮 喻更生 |
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| 作者单位： | 湘潭大学材料科学与工程学院;湘潭大学物理与光电工程学院 |
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| 基金项目： | 国家自然科学青年基金(61805208) |
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| 摘 要： | 基于广义Lorenz-Mie理论,对蓝宝石晶片中微体缺陷的散射特性进行了仿真,分析了散射光接收位置、缺陷大小、入射光波长对散射光强的影响。结果表明:前向散射方向上的空间散射光强信息量最大,检测结果最准确;缺陷大小对散射光强分布具有显著影响,可以将散射光强分布曲线的特征作为判断缺陷大小的依据;入射光波长越小,测量越准确。
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| 关 键 词： | 散射 MIE理论 蓝宝石晶片 微体缺陷 无损检测 |
Simulation of Scattering Characteristics of Micro- and Nano-Scale Defects in Sapphire Wafer |
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| Cheng Jie,Wang Xiangning,Xiao Yongliang,Yu Gengsheng. Simulation of Scattering Characteristics of Micro- and Nano-Scale Defects in Sapphire Wafer[J]. Chinese Journal of Lasers, 2019, 0(4): 129-135 |
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| Authors: | Cheng Jie Wang Xiangning Xiao Yongliang Yu Gengsheng |
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| Affiliation: | (School of Materials Science and Engineering,Xiangtan University,Xiangtan,Hunan 411105,China;School of Physics and Optoelectronics,Xiangtan University,Xiangtan,Hunan 411105,China) |
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| Abstract: | Cheng Jie;Wang Xiangning;Xiao Yongliang;Yu Gengsheng(School of Materials Science and Engineering,Xiangtan University,Xiangtan,Hunan 411105,China;School of Physics and Optoelectronics,Xiangtan University,Xiangtan,Hunan 411105,China) |
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| Keywords: | scattering Mie theory sapphire wafer microsphere defect nondestructive testing |
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