| 超薄太阳能硅片线切割工艺中悬浮液特性研究 |
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| 引用本文： | 任丽,李彦林,羊建坤,刘晓平,王敏花. 超薄太阳能硅片线切割工艺中悬浮液特性研究[J]. 太阳能学报, 2008, 29(3): 324-327 |
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| 作者姓名： | 任丽 李彦林 羊建坤 刘晓平 王敏花 |
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| 作者单位： | 1. 河北工业大学化工学院,天津,300130
2. 河北工业大学信息功能材料研究所,天津,300130 |
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| 摘 要： | 对硅片线切割工艺中悬浮液特性进行了理论与实验分析,测绘了悬浮液的粘度与温度特性曲线和pH值与温度特性曲线,为硅片的线切割工艺优化提供了理论和实验依据.
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| 关 键 词： | 悬浮液 粘度 pH值 温度 超薄 太阳能 硅片 线切割工艺 悬浮液 特性曲线 研究 SOLAR THIN SUPER LIQUID RESEARCH 实验分析 工艺优化 温度 粘度 测绘 理论 |
| 文章编号： | 0254-0096(2008)03-0324-04 |
| 修稿时间： | 2006-09-05 |
THE CHARACTERISTIC RESEARCH OF SUSPENDING LIQUID IN MULTI-WIRE-SAW OF SUPER THIN SOLAR WAFERS |
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| Ren Li,Li Yanlin,Yang Jiankun,Liu Xiaoping,Wang Minhua. THE CHARACTERISTIC RESEARCH OF SUSPENDING LIQUID IN MULTI-WIRE-SAW OF SUPER THIN SOLAR WAFERS[J]. Acta Energiae Solaris Sinica, 2008, 29(3): 324-327 |
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| Authors: | Ren Li Li Yanlin Yang Jiankun Liu Xiaoping Wang Minhua |
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