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| 脉冲激光束制备镓铝砷-砷化镓太阳电池的欧姆接触 | |
| 作者姓名： | 吴鼎芬 林成鲁 邬慧娟 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所(吴鼎芬，林成鲁)，中国科学院上海冶金研究所(邬慧娟) |
| 摘 要： | 欧姆接触是器件工艺重要环节之一,人们在这方面进行了许多研究。对太阳电池来说,欧姆接触极为重要,它影响短路电流、填充因子等等,它直接对电池效率产生影响。迄今为止,镓铝砷-砷化镓太阳电池上的欧姆接触合金化仍是用加热方法来完成的。近年来,国内外都在研究用脉冲激光束来制备欧姆接触,其比接触电阻值已与加热合金化方法所得结果相当。和加热合金化方法相比,用脉冲激光束合金化还有下述优点: |
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