| 基于低电压驱动MEMS的可调光衰减器的设计与性能分析 |
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| 引用本文： | 魏会敏,罗风光,曹明翠,胡巧燕. 基于低电压驱动MEMS的可调光衰减器的设计与性能分析[J]. 光电子．激光, 2006, 17(6): 685-687 |
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| 作者姓名： | 魏会敏 罗风光 曹明翠 胡巧燕 |
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| 作者单位： | 1. 华中科技大学,激光技术国家重点实验室,湖北,武汉,430074
2. 广州银讯光电科技有限公司,广州,广东,510000 |
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| 基金项目： | 广东省广州市科技攻关项目 |
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| 摘 要： | 研制了一种低成本、小体积的静电驱动微电机系统（MEMS）可调光衰减器（VOA）。该器件采用了静电驱动微反射镜和光纤光准直器，它具有良好的光学性能，克服了传统VOA的缺点。它的驱动电压范围是0～8V，工作范围是0～25dB。给出了器件的衰减量和驱动电压的关系、光学性能的分析和试验结果。
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| 关 键 词： | 微电机系统(MEMS) 可调光衰减器(VOA) 插入损耗 偏振相关损耗 波长相关损耗 回波损耗 |
| 文章编号： | 1005-0086（2006）06-0685-03 |
| 收稿时间： | 2005-07-23 |
| 修稿时间： | 2005-07-232006-02-21 |
Design and Performance Analysis of a Variable Optical Attenuator Based on Driven Micro-electromechanical System |
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| WEI Hui-min,LUO Feng-guang,CAO Ming-cui,HU Qiao-yan. Design and Performance Analysis of a Variable Optical Attenuator Based on Driven Micro-electromechanical System[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2006, 17(6): 685-687 |
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| Authors: | WEI Hui-min LUO Feng-guang CAO Ming-cui HU Qiao-yan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-electromechanical system(MEMS) variable optical attenuator(VOA) insertion loss polarization dependence loss wavelength dependence loss return loss |
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