可见光及近红外光波段减反射膜的设计与制备

在可见光及近红外光波段(400-1100 nm),选用Ti_3O_5、SiO_2、MgF_2三种镀膜材料,构成10层膜系结构,利用Willey减反射膜经验公式,计算得到理论的平均反射率为0.46%,其优化后为0.5%。进一步优化膜层结构、离子源辅助镀膜和电子束蒸发装置,在低折射率基板K9玻璃表面制备10层结构的超宽带减反射膜。实测结果表明,减反射膜在400-1100 nm波段的平均反射率为0.56%,满足宽波段增透膜的高透过性需求;环测表明:薄膜牢固度、机械强度、抗恶劣环境性能优越,连续生产的光学及表面性能稳定,达到民用、军用影像系统对于可见至近红外波段高透过性的要求。