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位置传感器PSD及其在光扫描动态测试中的应用
引用本文:南卫东,刘承.位置传感器PSD及其在光扫描动态测试中的应用[J].仪器仪表学报,1995,16(4):393-397.
作者姓名:南卫东  刘承
作者单位:浙江大学光学工程系
摘    要:光电位置传感器PSD具有响应时间短、位置分辨率高、光谱响应围大等优点,但位置检测精度不尽人意,只要对其进行标定修正,仍能达到相当高的精度。本文介绍PSD的标定方法及其在光扫描实时动态测试中的应用。

关 键 词:光扫描  动态测试  位置传感器

Position-Sensitive Detector(PSD)and its Application in the Optical Scanning Dynamics Testing
Nan,Wei-dong, Liu,Cheng,Zhu,Cheng-wu,Yang,Guo-guang.Position-Sensitive Detector(PSD)and its Application in the Optical Scanning Dynamics Testing[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,1995,16(4):393-397.
Authors:Nan  Wei-dong  Liu  Cheng  Zhu  Cheng-wu  Yang  Guo-guang
Abstract:
Keywords:PSD  Optical Scanning  Dynamics Testing  
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