| 热氧化法制备透明超疏水ZnO薄膜 |
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| 引用本文： | 刘毅,谭天,宋雪梅,李耳,王波,严辉.热氧化法制备透明超疏水ZnO薄膜[J].功能材料,2007,38(A01):303-306. |
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| 作者姓名： | 刘毅 谭天 宋雪梅 李耳 王波 严辉 |
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| 作者单位： | 北京工业大学材料学院薄膜材料与技术实验室,北京100022 |
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| 基金项目： | 基金项目：国家自然科学基金资助项目（50502001;60576012）;北京市自然科学基金资助项目（2062004）;北京市优秀人才工程资助项目（20041D0501513） |
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| 摘 要： | 高透明性的无机超疏水薄膜材料具有广阔的应用前景，采用磁控溅射法制备出表面具有纳米结构的金属Zn前驱体薄膜，并利用在低气压5Pa，温度350℃热氧化方法对其采取了处理，获得了接触角为151°，可见光透过率达80％以上的超疏水ZnO薄膜。SEM表明薄膜由100nm短棒状的ZnO堆积而成，通过XRD，IR的测量与分析，进一步讨论了沉积条件及热氧化处理对超疏水透明ZnO薄膜形成机理。
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| 关 键 词： | 超疏水 ZnO薄膜 溅射 热氧化 透明 |
| 文章编号： | 1001-9731（2007）增刊-0303-04 |
| 修稿时间： | 2007-07-16 |
Preparation of highly transparent superhydrophobic ZnO film by a simple thermal oxidation route |
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| LIU Yi, TAN Tian, SNG Xue-mei, LI Er, WANG Bo, YAN Hui.Preparation of highly transparent superhydrophobic ZnO film by a simple thermal oxidation route[J].Journal of Functional Materials,2007,38(A01):303-306. |
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| Authors: | LIU Yi TAN Tian SNG Xue-mei LI Er WANG Bo YAN Hui |
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| Affiliation: | Lab of Thin Film Materials, College of Material Science and Engineering, Beijing University of Technology, Beijing 100022, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | hydrophobic ZnOfilm sputter thermal oxidation transparency |
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