| 实用型准分子激光微细加工机研制 |
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| 引用本文： | 李呈德,万盈,左铁钏. 实用型准分子激光微细加工机研制[J]. 光学精密工程, 1999, 7(1): 79-84 |
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| 作者姓名： | 李呈德 万盈 左铁钏 |
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| 作者单位： | 北京工业大学国家产学研激光技术中心 |
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| 摘 要： | 介绍了研制成功的掩模投影式实用型准分子激光微细加工机的主要技术指标、结构特点、研制中解决的关键单元技术,并简要介绍其应用。
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| 关 键 词： | 准分子激光刻蚀 微细加工 掩模投影技术 |
| 收稿时间： | 1998-08-07 |
| 修稿时间： | 1998-08-07 |
Development of a Practicl Excimer Laser Micromachining Tool |
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| LI Cheng De,WAN Ying,ZUO Tie Chuan. Development of a Practicl Excimer Laser Micromachining Tool[J]. Optics and Precision Engineering, 1999, 7(1): 79-84 |
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| Authors: | LI Cheng De WAN Ying ZUO Tie Chuan |
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| Affiliation: | National Center of Laser Technology, Beijing Polytechnic University, Beijing 100022 |
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| Abstract: | The specification,constitution features and some critical problems for a practical excimer laser micromachining tool with mask projection techniques are described.Its applications are briefty introduced. |
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| Keywords: | Excimer laser ablation Micromachining Mask projection techniques |
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