硅中微量硼元素的区熔掺杂<b class="markJ">简</b> 期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

硅中微量硼元素的区熔掺杂简

引用本文：	闫萍,庞炳远,索开南.硅中微量硼元素的区熔掺杂简[J].半导体技术,2014(1):60-63.

作者姓名：	闫萍庞炳远索开南

摘要：
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