| 一种电容薄膜真空计检测电路的设计 |
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| 引用本文： | 康恒,李勇滔,李超波,景玉鹏.一种电容薄膜真空计检测电路的设计[J].仪表技术与传感器,2019(3):45-48. |
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| 作者姓名： | 康恒 李勇滔 李超波 景玉鹏 |
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| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所;中国科学院大学;集成电路测试技术北京市重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家重大科技专项项目(2017ZX02201002) |
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| 摘 要： | 针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路。该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿。仿真表明负反馈的方法能够有效降低真空计的非线性,在仿真数据上非线性度从7.27%降低到0.662%。实际测试结果表明该电路能准确地检测电容,电路灵敏度为1.85 V/pF,非线性度为0.4%,电路稳定性较好。
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| 关 键 词： | 电容薄膜真空计 电容检测 非线性 负反馈 补偿 |
Design of Capacitance Film Vacuum Gauge Detection Circuit |
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| KANG Heng,LI Yong-tao,LI Chao-bo,JING Yu-peng.Design of Capacitance Film Vacuum Gauge Detection Circuit[J].Instrument Technique and Sensor,2019(3):45-48. |
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| Authors: | KANG Heng LI Yong-tao LI Chao-bo JING Yu-peng |
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| Affiliation: | (Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China;Beijing Key Laboratory of IC Test Technology,Beijing 10088,China) |
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| Abstract: | KANG Heng;LI Yong-tao;LI Chao-bo;JING Yu-peng(Institute of Microelectronics of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100029,China;Beijing Key Laboratory of IC Test Technology,Beijing 10088,China) |
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| Keywords: | capacitive film vacuum gauge capacitance detection non-linearity negative feedback compensate |
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