| 高速钢表面真空电弧沉积ZrN薄膜的组织与性能研究 |
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| 引用本文： | 刘丽红,胡社军,曾鹏,谢光荣.高速钢表面真空电弧沉积ZrN薄膜的组织与性能研究[J].工具技术,2004,38(10):22-24. |
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| 作者姓名： | 刘丽红 胡社军 曾鹏 谢光荣 |
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| 作者单位： | 广东工业大学 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (项目编号 :5 0 2 710 19)，广东省教育厅自然科学研究项目 (项目编号 :0 2 0 0 75 ) |
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| 摘 要： | 通过试验研究了在高速钢表面真空电弧沉积ZrN薄膜的组织与性能 ,分析了真空度和偏压条件对ZrN薄膜显微结构及性能的影响
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| 关 键 词： | ZrN薄膜 真空电弧沉积 高速钢 组织 性能 |
Research on Microstructure and Property of ZrN Film on HSS Surface by Vacuum Arc Depositing |
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| Liu Lihong,Hu Shejun,Zeng Peng,et al.Research on Microstructure and Property of ZrN Film on HSS Surface by Vacuum Arc Depositing[J].Tool Engineering(The Magazine for Cutting & Measuring Engineering),2004,38(10):22-24. |
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| Authors: | Liu Lihong Hu Shejun Zeng Peng |
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| Affiliation: | Liu Lihong Hu Shejun Zeng Peng et al |
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| Abstract: | The microstructure and properties of ZrN film on the surface of high-speed steel by vacuum arc depositing are researched by experiment. Influences of the vacuum degree and the bias voltage on the microstructure and properties of ZrN film are analyzed. |
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| Keywords: | ZrN film vacuum arc depositing HSS microstructure property |
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