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Mn、Co掺杂ZnO薄膜结构及发光特性研究
引用本文:温晓莉,陈长乐,陈钊,张利学,牛利伟,高国棉.Mn、Co掺杂ZnO薄膜结构及发光特性研究[J].功能材料,2007,38(4):559-561.
作者姓名:温晓莉  陈长乐  陈钊  张利学  牛利伟  高国棉
作者单位:西北工业大学,理学院应用物理系,陕西,西安,710072
摘    要:利用脉冲激光沉积(PLD)方法在Si(100)衬底上制备了ZnO、Zn0.8Mn0.2O、Zn0.8Co0.2O薄膜.薄膜的晶体结构和表面形貌采用X射线衍射仪和原子力显微镜测试.表明薄膜具有明显的c轴择优生长取向,薄膜表面较为平整,颗粒尺寸在纳米量级,薄膜中晶粒的生长模式为"柱状"模式.此外,Mn、Co掺入后,薄膜的X射线衍射峰有小角度偏移,这与 Mn2 、Co2 离子半径有关.PL谱显示Mn、Co掺杂ZnO薄膜的蓝、绿发光峰的位置相对纯的ZnO薄膜没有改变,还出现了紫外发光峰,其中Mn掺杂的蓝、绿光峰的强度减弱,Co掺杂的蓝光峰强度减弱,绿光峰强度增强.这是因为Mn、Co掺入改变了ZnO本征缺陷的浓度,发光峰的强度也随之而改变.

关 键 词:PLD  Zn0.2Mn0.8O薄膜  Zn0.8Co0.2O薄膜  光致发光
文章编号:1001-9731(2007)04-0559-03
修稿时间:2006-09-26

Structural and photoluminescent properties of Mn or Co doped ZnO thin film
WEN Xiao-li,CHEN Chang-le,CHEN Zhao,ZHANG Li-xue,NIU Li-wen,GAO Guo-mian.Structural and photoluminescent properties of Mn or Co doped ZnO thin film[J].Journal of Functional Materials,2007,38(4):559-561.
Authors:WEN Xiao-li  CHEN Chang-le  CHEN Zhao  ZHANG Li-xue  NIU Li-wen  GAO Guo-mian
Abstract:
Keywords:PLD  Zno  2Mn0  80 thin film  Zn0  8 Co0  2 O thin film  photolumineseenee
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